Gamma Vacuum 泵——超高真空技术
发布时间：2020-11-11
Gamma Vacuum 泵——超高真空技术
Edwards 仅通过 Gamma Vacuum 提供系列离子泵、钛升华泵、非蒸发型吸气剂泵和配件。
捕集泵技术可为从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器的各种应用创造高真空（HV）和超高真空（UHV）环境。该技术能够以经济的成本创造尽可能低的真空。
离子泵
离子泵，也称为溅射离子泵或离子吸气泵，是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应，将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响，并被永久地封存在离子泵内。离子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内运行，氮气抽取速度范围为 0.2 至 1,200 l/s。
钛升华泵
TSP 通过加热钛丝并将钛分子升华（从固相转变为气相）到表面来运作。然后，升华的钛分子可与氧气和氮气等反应气体发生化学反应，并分解和扩散氢气。TSP可在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内运行，氢气抽取速度超过 10,000 l/s 。
非蒸发型吸气泵
NEG 系列是活性金属，已被压在固体基材上或烧结成圆盘。已发现锆、钒和铁的特定组合在 HV 和 UHV 环境中应用效果最佳。材料的使用量控制着 NEG 泵的速度和容量，而其速度通常为 55 至 412 l/s ，容量通常为 630 至 3600 Torr l/s。由于 NEG 吸收气体至饱和，它们可以在不向大气排放的情况下被重新激活。
