如果您需要稳定、可靠的性能以及零维护，我们的 STP 磁悬浮涡轮分子泵系列为您树立了标准。转子完全由磁悬浮轴承悬起 —— 非常适合要求运行时间长、无烃式真空、维护少且振动低的应用。

Advanced 系列可提供高水平的处理能力，非常适合您的半导体蚀刻和 CVD 制程：

• 占地面积小
• 处理速度从 300 l/s 至 4500 l/s
• 处理能力高达 6 slm，并提高了 H2、N2 和 Ar 性能。